工業用反滲透超純水設備的工藝流程:

1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點

2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點

3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點

4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點

水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）

工業用反滲透超純水設備的優點：

1 、零部件均采用廠家，質量可靠。

2 、整體化程度高，易于擴展，增加膜數量即可增加處理量。

3 、自動化程度高，遇故障立即自停，具有自動保護功能。

4 、脫鹽率高，可達 98 %以上。

5 、能耗低，運行成本低。

6 、水利用率高，回收率達到 50 - 75 %。

的應用范圍：

1、超純材料和超純試劑的生產和清洗。

2、電子產品的生產和清洗。

3、電池產品的生產。

4、半導體產品的生產和清洗。

5、電路板的生產和清洗。

6、其他高科技精細產品的生產。

7 、結構合理，占地面積少。

8 、先進的膜保護系統，在設備關機時，淡化水可自動將膜表面的污染物沖洗干凈，延長膜壽命。

9 、系統無易損部件，無需大量維修，運行長期有效。